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我所两项技术成果荣获集团公司科学技术进步奖

我所两项技术成果荣获集团公司科学技术进步奖

2019/03/05 15:37
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2019年开年,由我所第二设备事业部、第四设备事业部根据市场需求自主研发的“全自动高温强酸腐蚀机”、“JHQ-410D激光划片机”两项科技成果荣获中国电子科技集团有限公司科学技术进步三等奖。
全自动高温强酸腐蚀机突破了高温酸液气虹吸直排以及酸雾处理等关键技术。采用气虹吸技术实现了270℃高温酸液的直排,生产效率提高20%以上。该365bet足彩填补了国内空白,成功实现了对进口设备的替代。JHQ-410D激光划片机针对国内单面GPP晶圆划片工艺需求,突破了晶圆划切精度校正等关键技术,颠覆了晶圆需要双面光刻的背面对准、背面划切的传统工艺,达到GPP晶圆激光划片机同类365bet足彩国内领先水平,具有行业引领作用。